Відділ електроннозондових методів структурного і елементного аналізу напівпровідникових матеріалів і систем Інституту фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України. організовано в 1992р. у межах відділення «Структурного і елементного аналізу напівпровідникових матеріалів і систем» ІФН НАН України. З моменту створення його очолює доктор ф.-м. н., професор Ігор Васильович Прокопенко.

Основним завданням відділу є діагностичний супровід сучасних технологій отримання напівпровідникових матеріалів структур та приладів, а також приоритетних фундаментальних досліджень і перспективних прикладних розробок.